MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)
發(fā)布時間:2021-07-01 17:08:13 瀏覽:759
MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)是一種用于半導體和半絕緣質料的臺式/臺式半主動晶圓測量體系?;?span style="font-family:Calibri"> MTII 獨有的推挽電容技術,MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)供應完備的晶圓外貌掃描,用于厚度、厚度變更、蜿蜒、翹曲、sori、地位和整體平坦度。用戶界說且合乎 ASTM/SEMI 的掃描模式用于生產完備的 3 維 (3D) 晶圓圖像。
MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)定制的數(shù)據(jù)匯報可用于稽查測量的每個晶片的表格數(shù)據(jù),并疾速、放松地導出到您的電子表格法式。
晶圓規(guī)格直徑: 150 毫米、200 毫米、300 毫米;
質料:全部半導體和半絕緣晶片,包含 Si、GaAs、Ge、SiC、InP;
外貌:切割、研磨、蝕刻、拋光、圖案化;
平頭/缺口:全部 SEMI 規(guī)范平頭或缺口;
電導率: P 或 N 型;
特性
怪異的 MTI 電容傳感器,具有雋拔的精確性和可重疊性;
完備的 1000 μm 厚度測量局限,無需從新校準;
測量厚度、TTV、蜿蜒度、翹曲度和地位以及整體平坦度的Windows ?用戶界面;
ASTM 規(guī)范測量;
SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)計劃;
SEMI S8-0999 合乎人體工程學的計劃;
測量全部質料,包含 Si、GaAs、Ge、InP、SiC ***只有體電阻率小于 20K Ohm/cm;
深圳市立維創(chuàng)展科技有限公司,優(yōu)勢直接渠道提供MTI Instruments訂貨服務,歡迎咨詢。
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規(guī)格 | 范圍 | 準確性 | |
厚度 | ASTM F533 | +/- 500 微米 | +/- 0.25 微米 |
電視 | ASTM F657 | +/- 500 微米 | +/- 0.25 微米 |
弓 | ASTM F534 | +/- 250 微米 | +/- 2.0 微米 |
經 | ASTM F1390 | +/- 250 微米 | +/- 2.0 微米 |
索里 | ASTM F1451 | +/- 250 微米 | +/- 2.0 微米 |
平整度(現(xiàn)場) | ASTM F1530 | 8 毫米 * | +/- 0.15 微米 |
平整度(全球) | ASTM F1530 | 8 毫米 * | +/- 0.15 微米 |
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